Charakterisierung der Mikrostruktur von Werkstoffen und Beschichtungen mit Hilfe der FIB- und der Ar+-Ionen-Ätztechnik = Charactersation of the Materials and Coatings Microstructure Using FIB and Ar+ - Ion Etching - Wosik, J.; Nauer, G.E; Sonnleitner, R.