Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
Uložené v:
| Predchádzajúci názov: | Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena |
|---|---|
| Korporatívny autor: | |
| Médium: | Časopis |
| Jazyk: | English |
| Vydané: |
New York :
American Institute of Physics,
1991-
|
| Tagy: |
Pridať tag
Žiadne tagy, Buďte prvý kto otaguje tento záznam!
|
Titul je dostupný aj v ... 
| Vydané: | 9 (1991)----- |
|---|---|
| Frekvencia vydávania: | 6x ročne |
| ISSN: | 1071-1023 0734-211X |