Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume 1, Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology - Madou, Marc J., 1953- (Boca Raton : CRC Press, 2012)
Biograf. údaje o aut.
Poznámky
Na predsádkach il. a tlač. text
Bibl. odkazy; register: s. 631-641
Keywords: nanotechnológie; mikrotechnológie; fyzika pevných látok; mikroelektronické technológie; mikromechanika; fyzika pevných látek; fotonika; monografie