Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume II, Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology - Madou, Marc J., 1953- (Boca Raton : CRC Press, 2012)
Poznámky
Il. a tlač. text na predsádkach
Biograf. údaje o aut.
Bibl. odkazy; register: s. 643-656
Keywords: nanotechnológie; mikrotechnológie; fyzika pevných látok; mikroelektronické technológie; mikromechanika; fyzika pevných látek; fotonika; monografie