Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume III, From MEMS to bio-MEMS and bio-NEMS : manufacturing techniques and applications - Madou, Marc J., 1953- (Boca Raton : CRC Press, 2012)
Biograf. údaje o aut.
Poznámky
Il. a tlač. text na predsádkach
Bibl. odkazy; register: s. 627-636
Keywords: nanotechnológia; mikroelektronické technológie; mikromechanika; nanotechnológie; mikrotechnológie; aplikovaná biofyzika; monografie