Description: Nanogrinder zur hochpräzisen Bearbeitung von Siliciumwafer

Bibliographic Details
Main Author:	Könnemann, G. (Author)
Format:	Article
Language:	German
Subjects:	diamantové nástroje > brúsenie čipov
Source:	1. Industrial diamond review 1. Roč. 32, č. 3 (1998), s. 196-199

Description
Physical Description:	Obr.