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    Halbleiter-Technologie. Band 1, Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung /
    by Schade, Klaus
    Published 1981
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    Halbleitertechnologie. Bd. 2, Dotierung, Maskierung, Montage /
    by Schade, Klaus
    Published 1983
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    Fertingung integrierter Schaltungen /
    by Schade, Klaus, Köhler, Roland
    Published 1988
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