Nanolithography and patterning techniques in microelectronics /
Uložené v:
| Ďalší autori: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | English |
| Vydané: |
Cambridge :
Woodhead Publishing Limited,
2005.
|
| Vydanie: | 1st ed.. |
| Edícia: | Woodhead publishing in materials
|
| Témy: | |
| ISBN: |
9781855739314 (viaz.) |
| Fyzický popis: |
xiv, 409 s. : fotogr., grafy, il., tab. ; 24 cm. |
| Tagy: |
Pridať tag
Žiadne tagy, Buďte prvý kto otaguje tento záznam!
|
Titul je dostupný aj v ... 
| Fyzický popis: | xiv, 409 s. : fotogr., grafy, il., tab. ; 24 cm. |
|---|---|
| Bibliografia: | Bibl. odkazy; register: s. 399-409 |
| ISBN: | 9781855739314 (viaz.) |