Halbleiter-Technologie. Band 1, Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung /

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Bibliographic Details
Main Author: Schade, Klaus (Author)
Format: Book
Language:German
Published: Berlin ; Heidelberg ; New York : VEB Verlag Technik, 1981.
Edition:1. Aufl.
Series:Elektronische Festkörperbauelemente
ISBN: (viaz.)
Physical Description: 238 s. : il.
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Description
Physical Description:238 s. : il.
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ISBN:(viaz.)