Halbleiter-Technologie. Band 1, Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung /
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin ; Heidelberg ; New York :
VEB Verlag Technik,
1981.
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| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Elektronische Festkörperbauelemente
|
| ISBN: |
(viaz.) |
| Physical Description: |
238 s. : il. |
| Tags: |
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