Fundamentals of semiconductor processing technology. /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: El-Kareh, Badih (Author)
Format: Book
Language:English
Published: Boston-Dordrecht-London : Kluwer Academic Publishers, 1995
Edition:1. vyd.
Subjects:
ISBN: 0792395344 (viaz.)
Physical Description: 599 s.
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

LEADER 01249nam a2200385 a 4500
001 000023419
003 SVKK
005 19990611000000.0
008 951016s1995 ne e engo
FMT
020 |a 0792395344 (viaz.) 
040 |a SVKKK  |b slo  |c SVKKK  |e AACR2 
041 0 |a eng 
044 |a ne  |c NL 
080 |a 621.382  |2 1997 
080 |a 621.315.592  |2 1997 
100 1 |a El-Kareh, Badih  |4 aut 
245 1 0 |a Fundamentals of semiconductor processing technology. /  |c Badih El-Kareh 
250 |a 1. vyd. 
260 |a Boston-Dordrecht-London :  |b Kluwer Academic Publishers,  |c 1995 
300 |a 599 s. 
653 0 |a polovodiče  |2 SVKKKPH 
653 0 |a prvky polovodičové  |2 SVKKKPH 
653 0 |a technológia  |2 SVKKKPH 
653 0 |a monografie  |2 SVKKKPH 
655 7 |a monografie  |2 SVKKKPH 
910 |a svkkk 
919 |a 0-7923-9534-4 
974 |a MI  |d 19951123 
974 |a KL  |d 19951114 
974 |a PA  |d 19990611 
998 |a BK 
Z30 1 |l SCK01  |l SCK01  |m BOOK  |1 SCKHL  |2 SK14  |b Sklad Pribinova prízemie  |3 IV.169643  |6 887756  |q 19950103  |5 23419-10  |8 20060125  |f 70  |s Absenčne  |h SCKND  |t 00000000  |u 0000  |w 000023419  |x 000010 
a02 0 |a 0792395344 (viaz.) 
090 |g SCKHL  |k Sklad Pribinova prízemie  |a IV.169643  |j 887756  |i 23419-10  |s Absenčne