Nanogrinder for high precision machining of silicon wafers

Podrobná bibliografia
Hlavný autor: G. Könnenmann (Author)
Médium: Článok
Jazyk:English
Témy:
Zdroj: 1. Industrial diamond review 1. Roč. 59, č. 580/1 (1999), s. 30-33
Popis
Fyzický popis:Obr.