Fotolithografie : Grundlagen und anwendung in der Halbleitertechnologie. /

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Bibliographic Details
Main Authors: Fedotov, Jakov Andrejevič (Author), Pohl, H. J. (Author)
Format: Book
Language:German
Published: Berlin : Verlag Technik, 1974.
Edition:1. Aufl.
ISBN: (viaz.)
Physical Description: 336 s.
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