Hardness evaluation of a tungsten film deposited by plasma enhanced CVD technique
| Hlavní autori: | , , , |
|---|---|
| Médium: | Článok |
| Jazyk: | English |
| Témy: | |
| Zdroj: |
1. Acta metallurgica slovaca 1. 1335-1532 1. Roč. 10, mimoriadne č. 1 (2004), s. 630-634 |
| Fyzický popis: | Obr. |
|---|---|
| Bibliografia: | Bibliogr. odkazy Res. angl. |
| ISSN: | 1335-1532 |